製品の特長

本装置は最大２０ccのルツボを６個円周上に配列しており、これらを回転導入機構を用いたモーター駆動により正確にルツボを選択することが出来ます。電子ビームは最大１０ｋｗに対応可能で、金属以外の材料も蒸着可能です。ワーク及びルツボの交換はそれぞれロードロック機構を備えているため、成膜室は常に清浄な状態を保持できます。フランジはほぼすべてにコンフラットフランジを採用しており、高真空引きはターボポンプのタンデム構造になります。