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MOCVD装置
当社は化合物半導体製造装置の中で、通信用発光・受光素子、DVDやブルーレイなど光メディア用のＬＤ（レーザーダイオード）、ＬＥＤ、インバータやパワーFETなどのパワーデバイス等を目的とする成膜装置を展開しております。化学的手法のMOCVD（有機金属気相成長装置）や物理的手法の電子ビーム真空蒸着装置などを製造販売しております。
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当社は化合物半導体製造装置の中で、通信用発光・受光素子、DVDやブルーレイなど光メディア用のＬＤ（レーザーダイオード）、ＬＥＤ、インバータやパワーFETなどのパワーデバイス等を目的とする成膜装置を展開しております。化学的手法のMOCVD（有機金属気相成長装置）や物理的手法の電子ビーム真空蒸着装置などを製造販売しております。