製品・サービス
装置・精密機器
当社の不活性ガス循環精製装置はワーク内ガス中の水分及び酸素濃度を1ppmまで低減可能にしました。オプションとして有機溶剤除去にも対応しております。グローブボックスは常圧タイプと真空タイプを用意しております。
将来のEV化や再生エネルギーを目的とした二次電池等の研究開発用として数多く採用されています。
またアルゴンやキセノン、クリプトンなどの比較的高価な希ガスのラニングコスト削減を目的とした希ガスの循環回収精製装置もご要望に応じて製作可能です。
世界的な原料不足が予想される希ガスを少しでも無駄なく使うために是非当社の循環回収精製装置をお役立てください。
一方、半導体産業分野ではGaNなどのパワー半導体やLEDの研究開発用として各種小型MOCVD装置や真空蒸着装置などの販売を行っております。国立研究機関や大手企業の研究所に多くの納入実績があります。
当社はマスフローコントローラ国内最大手である堀場エステック社の正規特約店です。
半導体産業に限らず一般工業でも堀場エステック社の販売窓口として長年ご愛顧いただいております。
また東海ファインカーボン社のソリッドSiCやグラッシーカーボンなどのファインカーボンの販売にも力を入れており化合物半導体分野では多数の販売実績があります。
