製品・サービス
不活性ガス循環回収精製装置
製品の特長
アルゴンガスをはじめ高価な希ガス（Xe、Kr、Ne）及びその混合ガス真空回収し、精製後に必要な圧力に調整して再供給する装置です。N2, CH4, O2, CO, H2O等のガス不純物を1ppm. Vol以下まで除去できます。
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アルゴンガスをはじめ高価な希ガス（Xe、Kr、Ne）及びその混合ガス真空回収し、精製後に必要な圧力に調整して再供給する装置です。N2, CH4, O2, CO, H2O等のガス不純物を1ppm. Vol以下まで除去できます。