不活性ガス循環精製装置はアルゴンガス、窒素ガス、ヘリウムガスなどの雰囲気のグローブボックスや真空処理チャンバーのガス置換、熱処理装置など高純度なガスを必要とするシステムに使用します。目的に応じてガスの種類、ガスの循環流量など様々な仕様に対応した設計が可能です。最大60Nm3/hまでのガス循環精製が可能です。 残留水分は露点-76℃以下（1ppm.vol)、酸素は1ppm vol.以下（実績値 0.1ppm vol)の精製能力を有します。 ハロゲンランプなどの管球製造用、Liイオン電池などの二次電池製造用、有機EL製造用、各種研究開発用など多くの販売実績がございます。 回収精製装置は主にキセノン、ネオン、クリプトンなどの希ガスやアルゴン及びその混合ガスなど比較的高価なガスを回収、精製、調圧して再供給するシステムです。乾球封止装置、熱処理装置、実験用チャンバーなどに使用した余剰ガスを回収しますのでガスコスト削減に大きく寄与いたします。